时间：2023-03-21 17:05:10
导语：在电子工艺论文的撰写旅程中，学习并吸收他人佳作的精髓是一条宝贵的路径，好期刊汇集了九篇优秀范文，愿这些内容能够启发您的创作灵感，引领您探索更多的创作可能。
以往的热工仪表性能测试当中，出于热工仪表本身安装及运行的连续性角度考虑，只能将目标设备运往现场进行测试校准，而这部分设备往往体积较大，且容易在运输过程中出现问题，故实际运输过程需要投入大量时间和精力。由于携带不便、设备精确度不足、测试流程较为繁琐，故实际测量工作中还存在效率低下、操作复杂以及准确性缺乏有力保障等缺陷。
1.3新型火电厂热工仪表的校对措施
考虑到以往现场式热工仪表性能测试具有较多不足，目前大部分火电厂逐渐开始采用新型的校对技术。新型校对技术的核心，是新型的测试仪器，仪器可针对热工仪表现场运行情况进行动态化检测，且具有较强的输出能力和测试能力，性能较为全面。在全面测量电压、电阻以及电流的同时，也可以对设备内部压力的波动以及继电器保护装置运行情况进行全面把握。另外，该仪器还拥有自动化的校对系统，测试步骤较为简便，效率较高，是火电厂未来发展中可以推广采用的新型测试仪器。
2火电厂热工仪表中自动化技术的应用
2.1火电厂热工仪表自动化设施的安装措施
（1）设备以及仪表盘的安装策略。在安装自动化设备以及仪表盘前，应当全面把握仪器设备的具体构造与运行原理，每台设备都应当运用对比法进行检查，并做好热工仪表的校对工作。另外，应确保全部设备设备都满足质量规范后，再进行后续工作。热工仪表的量程以及刻度都应当符合相关规范，确定不存在其它问题以后，开始后续安装工作。另外，室内仪表盘的安装工艺也应进行全面把握。
（2）电路管道及线路的安装措施。考虑到电路管道及线路构造相对复杂，实际安装过程也会较为繁琐，安装内容包括信号的测定安装、电源的测定安装等等。这就要求在实际安装工作当中，相关人员结合实际情况，考虑到安装过程中的各项影响因素与现场环境，保障系统维护及安装工作顺利进行。此外，实际工作应当避免电磁干扰，提高接线安全性。
（3）电路管道及线路的调测。这部分工作，主要是在电路管道及线路安装完成后进行，通过对管道线路进行吹扫及试压措施，从而保障设备的连续性。另外，考虑到高温及高压运行环境，故需要对管道的性能进行单独式综合测试。工作人员也可以充分利用以往测试结果作参考，提高调测的准确性。
2.2火电厂热工仪表自动化技术的巧妙应用在自动化仪表投入使用前，应充分把握其运行原理以及校准方式，做好日常维护工作，具体如下。
（1）应保持电源电压的稳定性。若电压波动频率较高，也会使得相应的电子元件受到损坏，使用寿命缩减。较严重情况下，过高的电压还会导致设备断电以及供电系统故障，使得自动化热工仪表及相关设备也无法保持正常运行。这就需要对电源系统进行适当改造优化，从而提高电压稳定性。另外，电池电量也应该及时进行检测，避免系统运行期间断电导致仪表数据出错。
（2）运行环境的温度应保持平衡。长期高温运行会使得零件老化变快，故障率较高，若温度较低又会降低系统设备活性，同样会影响其正常运转。故设备室内应安装有空调等降温设备，将工作环境控制在适宜温度，一般为0-60℃。
（3）落实定期维护修理工作。虽然自动化热工仪表具有一定的自我维护能力，但如果检修不彻底，会导致仪器无法全面反映设备运行情况，同样会存在安全隐患，这要求定期进行人工维护与检修，从而确保其稳定运行。
3结束语
[关键词] 功能对等理论 电影字幕 字幕翻译 语境与文化
doi：10.3969/j.issn.1002-6916.2012.23.032
字幕翻译，作为一种新兴的、特殊的翻译形式，已经成为翻译不可缺少的一部分。从翻译实践、跨文化交流的角度等方面来看，我们对电影字幕的翻译进行深层次的探讨都显得尤为重要。字幕翻译者在这个转化过程中占据着不容忽视的作用，推动着电影制作者和观众双方的交流。一方面，字幕翻译者要理解原文的意图和相关信息，以便达到心理和认知上的共识。另一方面，字幕翻译者还要考虑到译语观众的认知和接受能力。在这个传达过程中，字幕翻译者凭借自身的知识储备和对语境的认知能力，帮助译语观众通过看字幕以最小的努力最大程度上理解电影的内容。字幕翻译者自身的知识储备、对语境的认知能力、驾驭两种语言的能力直接关系到字幕译本的质量。美国的语言学家和理论学家奈达的功能对等理论是西方众多翻译理论学中备受推崇的理论之一，是建立在对翻译实践与理论研究基础之上的，是衡量译本水平、指导翻译实践的标准。本文试图利用奈达的功能对等理论对电影Legally Blonde I字幕汉译的不同版本中具有代表性的译例进行分析，指出其在语境 、文化等值等方面翻译处理上的可取之处及欠缺的地方，并提出更好的翻译，旨在引起更多学者关注电影字幕翻译，推动跨文化交流的进程。
到目前为止，Legally Blonde I还未发行过任何官方的中文字幕，从网上搜索到的资源所配的中文字幕大都是网友们自发制作的，且版本数量（2版）有限，翻译质量更是无法令人满意。鉴于这种情况，本人决定将网上现有翻译版本进行比较分析，进而给出更考究的译法，努力找出更好的译文，让译语观众得到更清晰的信息。
一、语境意义（contextual meaning），又称“上下文意义”，指词语在特定的语言环境中的意义——特定的语言环境是给词的概念意义以某种调节，从而赋予它以某种联立或关联涵义。（方梦之，2004：228）
E-C Translation：
The distinction（between the neat people and the sloppy people） is， as always， moral.
原译文：他们的区别总是表现在德行上。
改译文：他们之间的区别总是表现在精神面貌上。
原译文取其常用意义，但moral 一词是多义词。爱整洁的人或邋遢的人之间的区别不能说是“道德”问题，主要还是“精神面貌上”或“心理上”的问题。而moral 一词除了有“德行上的”意义之外，还有其他许多意义。根据此句内容，则改译的用词表达了上下文的意义。（郭建中，2010：212）
Legally Blonde I中与语境对等相关的译例分析
译例（1）哈佛学位委员会的主任说：Fashion major？
原译：很热门的专业？
分析：这里应从上下文来理解，前面提到了她是“时装推销”专业，所以结合上文来看，这里的fashion后面省略了merchandising，还是指她的“时装推销”专业，而不是指“很热门的专业”。
译例（2）Elle被教授赶出教室后，在学校长椅处第一次碰到Emmett， Emmett问她Whose else do you have？
原译：你还干什么？
分析：这里从字面意思来看，是 “你还有谁的？”或“你还干什么？”而从电影前面出现的故事情节看，Elle被教授赶出教室，并对这个教授感到有些懊恼，所以Emmett是问她“你还选了哪些老师的课？”而不是问她 “你还干什么？”。这也要从上下文分析才能得出准确的翻译。因为接下来Elle回答的答案就是她所选的课程。
二、文化意义（cultural meaning）， 指语言载体所反映的民族文化和心理素质。（方梦之，2004：222）
E-C Translation：
Computer technology may make the car， as we know it， a Smithsonian antique.
译文：计算机技术在汽车技术上的应用，会使我们今天熟悉的汽车成为史密森博物馆里的一件古董。
Smithsonian 是位于美国首都华盛顿国会山前面的一座大型博物馆，实际上由16个分馆和美术馆组成，另外还有一个动物园。一般中国读者可能不了解。在Smithsonian 后面加上“博物馆”一词，中国读者就能了解“史密森”乃是该博物馆的名称。（郭建中，2010：214）
Legally Blonde I中与文化对等相关的译例分析
译例（1）在电影开始部分某一位女教授的第一堂课上，她介绍到：The law is reason free from passion.
原译：法是从激情中解放出来的。
分析：两个已有翻译版本都把这句话译成了“法是从激情中解放出来的”。而实际上这是亚里士多德的一句名言。The law is reason free from passion应该译为“法是理智，而不是激情”。之所以误译是因为译者不是很了解这句名言的固定翻译，这种例子我们在英文电影Forrest Gump中也经常见到，如We were like peas and carrots. 豌豆和胡萝卜丁，一个圆的，一个方的；一个绿的，一个红的。它们的共同点虽然没有太大的味道，但都是营养价值很高的食物。故在美国烹饪时常作为主食的点缀，而且它俩都是同时出现的。故引申为形影不离。而如果不理解源语文化，很容易就按照字面意思译成“他们像豌豆和胡萝卜一样”。由此可见，电影字幕翻译中处处要留心文化的因素。多查阅、多积累是必须要做的功课。
参考文献
[1]Nida， E. A. Toward A Science of Translation [M]. Shanghai： Shanghai Foreign
Language Education Press： 2004
[2] 郭建中. 翻译：理论，实践与教学-郭建中翻译研究论文选 [H]. 杭州：浙江大学出版社，2010.10
[3] 李运兴.字幕翻译的策略[J].中国翻译，2001（7）：45.
每年5月，由显示协会(SID)组织的世界规模的显示技术讨论会与展览会在美国西海岸的一个城市举行，今年的第45届SID年会在美国加州长滩(Long Beach)会议中心举行。会议共收到论文摘要702篇，其中有489篇入选本届讨论会。489篇论文中有279篇在67场专题报告会中口述，其余210篇于5月23号下午集中在一个大厅中，以张贴形式发表，作者与读者进行面对面讨论。令人鼓舞的是全部论文中有24％的作者是学生。提交论文的国家和地区数为2l，论文数分布如下：韩国23％，美国22％，日本19％，台湾地区16％，德国4％，我国大陆地区在会上发表的论文数为4篇。
这次论文报告会共举行了67场，按专题区分分布如下：LCD 22场；OLED 12场；显示器件制造工艺5场；PDP4场；显示电子学4场；背光源4场；投影显示3场；FED 2场，三维显示2场；标准与计量2场，医用显示2场；电子纸2场；其它专题各1场(共13场)。
可见，LCD、OLED是这次报告会与展览会的主角，由于LCD、PDP、OLED已有专文报导，这儿只从FED这一个侧面进行介绍。
FED是利用高电场将电子从发射微尖或微间隙中拉出来，电子进入真空后，被加速，轰击荧光粉发光，被认为是下一代的平板显示器。由于生产成本偏高，目前尚未能如CRT、LCD进入大众娱乐行业，而只局限在军用、医用、车载或特殊工业用，但是从本次SID大会上可以见到一些可喜的动向。
FED的基础工艺与特点
FED的基础工艺有三大部分：
(1)真空工艺：包括真空包装，上、下玻璃板间的支撑、吸气剂、表面处理、真空封接材料。
(2)光电子、半导体工艺：包括荧光粉，荧光粉的涂敷，保护荧光粉不受离子轰击的膜层。
(3)微、纳米制造工艺：包括场发射阵列、电极结构形成，聚焦电极、场发射控制，防止放电的结构。
字符或小点阵显示，可采用低电压荧光粉，这时极间间隙约0.2mm，已证明FED在低电压工作下，寿命足够；对于全彩色显示FED，为了获得足够的亮度与寿命，工作电压约3kV，为了保证色纯，需增加聚焦电极。
与CRT-TV、PDP-TV、LCD-TV相比，FED－TV的功耗是最小的。所以FED具有薄平板(厚度约2～3mm)、自发光、无图像畸变、大视角(约170°)、快响应，低功耗的特点。
Spindt型微发射FED的生产已初具规模
Spindt型FED厚度为2～3mm，阴极、门电极和聚焦极由铌(Nb)制成，发射微尖材料为钼(Mo)，阳极材料为铝(A1)。如图3所示。
3英寸彩色FED的屏尺寸为30x70mm、像素数为1 84x80xRGB，亮度为600cd／m2、功率为4W，用于汽车发动机显示器。经过23000h使用后，钼微尖完好如初。进一步减小门极开口直径，可获得更大的电流密度或降低驱动电压；采用新型发蓝光荧光粉AIN:Eu后，与常用发蓝光荧光粉Y2SiO3:Ge相比较，色域更宽，老化寿命可增加一个数量级。对于Y2SiO3:Ge荧光粉轰击电荷量累计达到120C／cm2时，亮度已降为初始值的50％，而对于AIN:Eu，这个值为1200C／cm2(C是库仑)。
Spindt型FED最适合中、小型显示屏，单色FED已进入市场，全彩色型FED已开始启动大生产。
26英寸纳米Spindt型FED现身展览会
在展览会上，Field Emissinon Technologies公司展出了26英寸的彩色的Spindt型的FED屏，与并列的LCD相比，呈现了优越的动态图像特性。该公司的资料报导，19.2英寸纳米量级Spindt型彩色FED原型的指标如下：
屏尺寸 391293.76mm
分辨率 1280960(点)，节距0.306mm
亮度400cd／m2
对比度 大于20000:1
显示器尺寸 500(宽)350(高)55(厚)mm
纳米Spindt型FED的特点是微尖为纳米量级，可以用类似TFT工艺制造高密度微尖阵列，使得每个像素中包含有上万个纳米微尖。
碳纳米管(CNT)场致发射显示CNT-FED)屏的均匀性获最大突破
碳纳米管以其优异的场致发射特性和可以用较简单工艺制造大尺寸发射阵列，特别适于用制造大尺寸FED显示屏，但由于均匀性的限制，一直未能进入高质量图像显示市场。
法国研究人员采用将触媒体层光刻成所需的图案，在其上生长出CNT。每个沟道宽121μm，间距25μm，每个沟道中有10个4.5μm×4.6μm触媒生长点。20个沟道组成一个子像素，所以每个子像素中含有200个触媒生长点，每个彩色像素中含有600个触媒生长点。
每个触媒生长点与其上的门极孔用自对中工艺形成，如图6所示：将光刻胶涂在门电极金属层上，光刻出沉积触媒点的小孔(1)；将金属层、绝缘层光刻穿透，直至阴极层(2)；通过门电极孔将触媒沉积在阴极上(3)I除去光刻胶(4)，之后便可以在触媒点上生长CNT了。
已制出6英寸的试验屏，将来的目标是生产分辨率为1920×1080，可显示全彩色HDTV图像的52英寸宽屏FED-TV
6英寸试验屏的性能指标如下：
像数尺寸：3200mm×600mm
每个像素中包含的发射点数：600
灰度等极：256
占空比：1／312.5
阳极电压／极间间隙：4kV／1mm
峰值电流密度：4.5mA／cm2
短程不均匀性：白场下为3％
显示流明效率(带黑矩阵)：3.11m／W
峰值亮度(不带中性滤光片)：白场下600cd／m2
主要工艺特点为：
(1)保持极间距为1mm情况下，将阳极电压从3kV提高到4kV，以获得为显示HDTV图像所需的发射电流密度。阳极电压提高后容易发生电击穿。容易发生电击穿的地方是真空封接边缘，将阳极高压面积缩小到成像区，这样可使高压区远离不齐的封接边缘；另一个措施是在阴极绝缘面上涂一层电阻层，以避免由于充电而导致电击穿。
(2)阴极发射电流密度的短程不均匀性在峰值电流密度6mA／cm2情况下为3％。商品CRT屏和LCD屏的短程不均匀性分别为2％和3.5％，所以CNT-FED屏的亮度短程均匀性已达到显示高质量图像的要求。
以上成就预示着CNT-FED作为下一代低价位高显示质量屏是具有很大发展潜力的。
表面电子传导场致发射显示(SED)屏正等待东山再起
由佳能公司与东芝公司联合开发的SED显示器在2005年SID展览会上再次现身后，曾引起世人的注目，佳能与东芝并宣布准备组厂生产。但是在LCD大屏显示器的性价比一再提高的外界压力下，生产日期一再延后。2006年再次宣布将于2007年1季度投产55英寸SED。由于发生了与美国公司专利纠纷，虽然胜诉，但是限制其SED只能在日本销售，所以佳能近日宣布无限期推迟55英寸SED生产日期。
表面电子传导场致发射显示(SED)的基本原理是在电极间形成一系列纳米量级的微间隙，从而只要在极间施加几十伏电压，便可引起显著的场致发射。
论文题目XXXXXXXXXXXXXX
工程领域软件工程
指导教师XXX教授
作者姓名XXX
学号XXXXXXXXXX
分类号密级
UDC注1
学位论文
XXXXXXXXX
(题名和副题名)
XXX
(作者姓名)
指导教师姓名XXX副教授
电子科技大学成都
XXX(姓名、职称)
(单位名称、地点)
(职务、职称、学位、单位名称及地址)
申请专业学位级别硕士专业学位类别工程硕士
工程领域名称软件工程
提交论文日期论文答辩日期
学位授予单位和日期电子科技大学
答辩委员会主席
评阅人
2010年月日
注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我
所知，除了文别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。
签名：日期：年月日
论文使用授权
本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。
(保密的学位论文在解密后应遵守此规定)
签名：导师签名：
日期：年月日
摘要
多层陶瓷电容器(MLCC)是表面组装电路中最重要的电子元件之一。使用贱金属(Ni或Cu)代替昂贵的贵金属Pd或Ag/Pd合金作为内电极，可以极大地降低MLCC的生产成本。
本论文正是针对上述问题，以BaTiO3基抗还原陶瓷材料为主要的研究对象，在深入分析BaTiO3陶瓷的改性机理的基础上，对材料和工艺问题作了创新性和探索性研究。主要内容为：
1.详细研究了稀土元素对BaTiO3-Mg-R(R=稀土元素La、Pr、Ce、Nd、Sm、Gd、Dy、Ho、Er、Yb)体系的微观结构和介电性能的影响。
2.详细研究了各种掺杂离子对壳-芯结构的BaTiO3-Mg-R(R=Yb、Ho)系统的介电性能的影响及其改性机理。
3.研究了3d元素对BaTiO3-Yb-M(M=3d元素Cr、Mn、Fe、Co、Ni和Zn)系统的改性机理。
4.研究以溶胶-凝胶法制备的复合氧化物掺杂剂对(Ba，Ca)(Ti，Zr)O3(BCTZ)和BaTiO3粉料进行改性，从而制备抗还原Y5V和X8R材料的新工艺。
关键词：改性机理，抗还原，壳-芯结构，复合氧化物掺杂剂
ABSTRACT
Ceramicmultilayercapacitors(MLCC)areoneofthemostimportantelectroniccomponentsatthesurfacemountingofelectroniccircuits.Asubstantialcostsavingcanbeachievedbyutilizingbasemetal(NiorCu)electrodeasinternalmetallizationinMLCCoverthemoreexpensivepreciousmetalssuchasPdorAg/Pd.┄┄
Inthisthesis，thebasicmodificationmechanismsofBaTiO3havebeenanalyzed.Thennovelmaterialsandprocessareexploredandinvestigatedfornon-reducibledielectrics.
Themainresultsareasfollows：
1.TheeffectsofrareearthelementsonthemicrostructureanddielectricpropertiesofBaTiO3-Mg-R(R=rareearthelementalsLa，Pr，Ce，Nd，Sm，Gd，Dy，Ho，Er，Yb)systemareinvestigatedindetail.┄┄
2.Theeffectsofvariousionsonthedielectricpropertiesofthecore-shell-structuredBaTiO3-Mg-R(R=Yb，Ho)systemarestudiedindetailandtherelativemecha51lunwen.com/example_format/nismsarediscussed.┄┄
3.Themodificationmechanismsof3delementsareinvestigatedintheBaTiO3-Yb-M(M=3delementsCr，Mn，Fe，Co，Ni，Zn)system.Core-shellstructureisfoundinallthe3d-Yb-codopedsamples，resultinginimprovementofTCCbehavior.┄┄
4.Anovelroutehasbeendevelopedtopreparenon-reducibleY5VandX8Rmaterials，inwhichsol-gelderivedcomplexoxidedopantsareappliedtoultrafine(Ba，Ca)(Ti，Zr)O3(BCTZ)orBaTiO3powders.
目录
第一章绪论1
1.1多层陶瓷电容器的发展概况及现状2
1.1.1多层陶瓷电容器的结构和发展趋势3
1.1.2BME-MLCC带来的挑战和机遇4
1.2钛酸钡基抗还原介质材料的研究历史及现状30
1.3本论文的选题和研究内容31
第二章BATIO3陶瓷的微观结构和改性机理32
2.1BATIO3的微观结构35
2.1.1BATIO3的晶体结构38
2.1.2BATIO3的铁电畴结构38
2.2BATIO3陶瓷的改性机理39
2.2.1铁电陶瓷的展宽效应40
2.2.1.1相变扩散型展宽效应41
2.2.1.2固溶缓冲型展宽效应41
2.3化学非均匀性晶粒结构42
2.4本章总结43
第三章结论和展望45
3.1本论文研究总结45
3.2前景展望46
致谢47
参考文献48
Abstract： IC technology is the main courses of Electronic Science and Technology major in Shenyang University of Chemical Technology, course contents, which content is extensive, range of knowledge is wide, application is wide, and content updates fast. This paper, combining with the current requirements of undergraduate teaching, explored the teaching method and course content and so on and achieved good results.
关键词： 电子科学与技术专业；集成电路工艺学课程；教学改革
Key words： electronic science and technology major; IC technology courses; teaching reform
中图分类号：G42文献标识码：A 文章编号：1006-4311（2011）13-0223-01
1 信息时代需要优秀的电子科学与技术专业的人才
电子科学与技术专业具有多学科渗透、应用性强、主要服务于IC行业等鲜明特点。能够从事电子科学与技术领域的研究、设计、开发、应用和管理的高级人才。目前国内开设电子科学与技术专业的学校有：天津大学、电子科技大学、西安电子科技大学、北京理工大学、北京航空航天大学等几十所学校。通过本课程的学习应使学生对集成电路工艺学中的基本概念、基本技术和基本器件有比较全面、系统的认识，培养学生分析和解决工程技术问题的能力，为进一步学习相关专业课打下基础。主要研究氧化、扩散和离子注入等相关技术。使学生掌握光刻、刻蚀和蒸发溅射等的基本概念及基本技术，对集成电路工艺学有比较全面、系统的认识和了解。
2 我校电子科学与技术专业本科人才的培养目标
该专业毕业生应获得以下几方面的知识和能力：①掌握信息科学、电子学和计算机科学学科的基本理论、基本知识；②微电子技术系统及其决策支持与安全防护系统的分析与设计方法和研制技术；③具有使用计算机和仪器设备解决工程问题的能力；④具有创新意识和独立获取新知识的能力。
3 电子科学与技术专业集成电路工艺学课程教学改革探讨
3.1 集成电路工艺学的内涵 集成电路工艺学是利用研磨、抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、蒸发等一整套平面工艺技术，在一小块硅单晶片上同时制造晶体管、二极管、电阻和电容等元件，并且采用一定的隔离技术使各元件在电性能上互相隔离。然后在硅片表面蒸发铝层并用光刻技术刻蚀成互连图形，使元件按需要互连成完整电路，制成半导体单片集成电路。随着单片集成电路从小、中规模发展到大规模、超大规模集成电路，平面工艺技术也随之得到发展。例如，扩散掺杂改用离子注入掺杂工艺；紫外光常规光刻发展到一整套微细加工技术，如采用电子束曝光制版、等离子刻蚀、反应离子铣等；外延生长又采用超高真空分子束外延技术；采用化学汽相淀积工艺制造多晶硅、二氧化硅和表面钝化薄膜；互连细线除采用铝或金以外，还采用了化学汽相淀积重掺杂多晶硅薄膜和贵金属硅化物薄膜，以及多层互连结构等工艺。
3.2 电子科学与技术专业集成电路工艺学课程教学改革措施
3.2.1 教学内容 ①授课体系和重点；课程根据电子科学与技术专业方向的学生培养要求，着重从硅工艺的角度出发，理论方面力求清楚易懂，阐述微电子学基础、半导体物理基础、光电现象和光电效应，重点介绍常用工艺原理、特性和参数。为了更好的运用硅基器件，对各类器件的电路也作了详细的分析，同时给出实际应用系统举例。②所讲授的知识要紧跟科学发展前沿；集成电路工艺学教科书对于迅猛发展的集成电路工艺学来说，既是基本的，又是滞后的，教师授课时如果按教材讲解，往往会带来知识陈旧、讲课形式单一、内容枯燥乏味的后果，造成学生学习积极性下降。因此在教学过程中删掉一些陈旧过时的内容，及时补充和更新教学内容，增添一些现代集成电路工艺学的前沿知识，特别是体现本学科专业特色的一些前沿知识，从而紧跟集成电路工艺学的前沿，给学生提供充分的科学探索和求真的空间。③注重课程与专业应用领域间的联系；专业课可理解为某一学科的基础课程，是通向学科广阔领域的桥梁。它的基本功能是引导学生明确学科专业发展方向，使其在日后的学习工作中能自如的在该学科专业的深度和广度上钻研、拓展。因此在讲授课程各部分内容时，电子科学专业的应用领域紧密相连。例如针对硅片生产应用领域，在课程讲授过程中可适当加入集成电路制造技术的应用热点以及在IC行业中的应用等方面的内容，使该专业的学生了解所学课程内容在该领域的应用、研究热点及发展前景。
3.2.2 教学方法 ①利用现代教育技术的各种多媒体技术和网络技术进行教学，例如投影、幻灯、录像等多媒体资料，充分发挥其信息容量大、方便快捷、形象直观、教学效率高的优势。这样使用这些教学工具，既使教师能方便清楚地讲授专业课中的各种图片资料内容，又省去了教师课堂现场作图的时间，在有限的时间内能讲授更多的内容，提高了讲课的信息量。因此教师要积极制作教学课件、开发利用网络上丰富的信息资源，下载适合学生阅读的科研论文，并推荐给学生参考。这是开拓学生视野，培养学生自学意识和科研意识的有效方法。②采用讲座与讲授相结合的教学方法。在进行基础理论教学的适当时机，安排集成电路方面科技知识的专题讲座，穿插现代集成电路科技知识，使学生既强化基础理论训练，又熟悉了解较多的现代集成电路科技知识，激发学习兴趣，培养学生的科研意识。
3.2.3 教学目标 在集成电路课程改革中，把教学目标从以科学知识教育为主转变为实现科学教育和人文教育的融合，培养敢于创新、善于思索、具有团队协作精神的21世纪新型人才。长期以来，我国大学文、理、工分校，存在着科学教育与人文教育的脱离，造成理工科生的人文文化知识和文科生的科学常识知之甚少。针对电子科学与技术的工科学生，应在进行科学知识教育的同时注重培养其人文精神，例如在讲解集成电路课程中的科学概念、原理、方法时可提到发现科学规律的动机，提到科学家如何通过艰苦的努力甚至牺牲生命取得创新，以及这些成果的应用对社会可能造成的影响等，从而使之潜移默化地对学生进行自然的而不是勉强的人文教育。
参考文献：
【关键词】电子产品；工艺加工
电子产品就是借助电子运行形式进行工作的产品，我们称其为电子产品。而电子产品的加工工艺就叫电子工艺。电子工艺是在电子产品设计和生产中起着重要作用的、并且曾经不受重视的工程技术学科。随着信息时代的到来，人们认识到，没有先进的电子工艺就不能制造出高水平、高性能的电子产品。并且涉及众多的科学技术领域和具有形成时间较晚而发展迅速的特点。广义的电子工艺分为基础电子加工工艺和电子产品加工工艺。而基础电子加工工艺技术在国内相对落后，主要技术掌握在欧美等发达国家手里，因此本文略过此部分。电子产品加工工艺在国内相对发展较快。但在电子产品加工工艺又包含电子装联工艺和零部件制造工艺，而电子装联工艺由整机组装工艺和PCBA制造工艺两部分组成
1.资料与方法
一般资料：首先，调查与了解目前市场上电子产品加工工艺的背景，意义及电子产品加工工艺目前的状况，接着分析电子产品从设计开发到生产的总体环节和状况，从整体上介绍了电子产品的加工工艺位于电子产品整个流程的后阶段，以便在介绍电子产品加工工艺环节时所涉及的相关内容易于理解，并同时对每个流程模块做了相应的简述，对于联系到电子产品加工环节的小批量生产做了相应剖析，介绍具有探索性和研究性小批量生产是为了对应到大批量生产所需要验证的对应项目、工艺参数要求及产品的品质信赖性验证测试，为弱化大批量生产介绍和探讨作讨论。
电子产品的加工工艺和探索背景：在电子产品盛行的今天，电子产品随着社会的发展，已经在轻薄小的方向上迅猛前进，这就是现在越来越流行的小型化和轻便化的电子产品趋势，该趋势势必导致电子元器件的小型化和电子加工工艺的高难度，同时也带来了电子生产成本的增加和激烈的竞争，这种小型化高难度电子加工工艺问题的良好掌握，往往决定着公司特别是国际性电子加工公司在竞争中的升降，也往往决定着它们的未来。其次电子产品的加工生产随着社会的普及和加工公司的增多，已经越来越向微利化方向发展，这就要求各公司或企业在效率化和规模化上更胜一筹，否则其高昂的成本压，力将让企业无法前进。这种效率化和规模化使得公司或企业不得不在电子加工生产工艺上投入更多的研究和探索，以争取更高的效率和优化的规模为公司的良好发展奠定基础。再次，电子产品的终端应用因各种原因造成的可靠性和信赖性问题一直受到社会的广泛质疑，往往承诺三年的质量在几个月的时间就走到了尽头，有些甚至还没开始使用。为了良好的质量和终端应用的口碑，更为了公司或企业的良好发展，各电子加工司或企业不得不从设计和加工工艺环节来提高可靠性和信赖性，以促进公司或企业适应社会潮流趋势，创造优质可靠的产品。
电子产品加工工艺目前的状况：
（1）电子产品目前的广泛加工工艺技术中，SMT 是加工工艺中最前端也是最必须的加工工艺设备，即使相同的设备加工相同电子产品，有些公司或企业可以良好运作并持续盈利。有些公司或企业无法加工，不良超高，工艺问题很多，导致成本居高以致亏损。同样波峰焊接设备对不同的公司也会面临同样的SMT 设备问题。这种设备的合理应用是一个值得探讨的问题。
（2）在国内的多数电子加工公司中，固胶生产工艺的在双面焊接加工中不仅仅盛行，而且普遍，而在国外或台湾的部分企业当中，这种双面焊接的加工工艺根本无需固胶，只用翻面焊接就可以进行双面焊接，并且无需使用点胶机。显然在电子公司或企业组织的产品加工工艺当中，这种不同方式的规模化生产，取得的效益和结果明显是不同的。
（3）电子产品的可靠性和信赖性在终端应用中一直受到人们的质疑，质量事件源源不断，品质纠纷随时发生，为了提高产品的品质和可靠性，各公司或企业在电子加工工艺环节不但地研究和投入提高品质和可靠性的方法，但取得的效果并不明显。对电子产品而言，这其中最主要可靠性就是来自焊接方面。
（4）电子产品的生产随着社会的发展，2006年7月1日起开始执行的RoHS指令，为国际社会电子产品的加工开辟了新篇章，以前的含铅材料被限制，取而代之的是限制成分的材料，材料和各种费用成本显著上升。但是对要求不严的国内市场，低成本的有铅焊接材料和元器件依然盛行，加上国内大规模集成电路技术的贫乏，国内应用的大规模集成电路几乎全部来自欧美RoHS辖区的RoHS产品。这样在国内就自然产生了一种新的加工工艺―混合生产工艺技术，目前这种混合生产工艺技术已经成为几乎所有公司或企业的瓶颈技术。面临批量的不良产品和成本损耗几乎使所有公司或企业望而却步，但其有铅材料的低成本又令其垂涎欲滴，所以这种混合生产工艺还有待进一步的探索和研究。
2.结果
电子生产工艺包括很多方面，不仅包括设备的使用和调试工艺、设备的引进评估和维护保养工艺、设备的规模化生产工艺、电子生产加工的作业方法工艺、电子生产加工的工具使用工艺，同时还有电子生产加工过程中的焊接工艺等。因所有工艺中焊接性是直接关系到产品的品质可靠性和信赖性的关键因素，因此本论文下面的综合部分主要以电子加工焊接作业为中心探索电子加工工艺的规模化问题和目前国内业界面临的瓶颈问题。
3.讨论
电子生产工艺特别是在规模化问题上目前存在很大的差异性，一是机械设备存在着千差万别，不同公司生产的机台在运动原理上都有一定的差异，并且相互间缺少兼容性；二是不同的电子生产公司使用的制程有着一定的差异，这种差异常常伴随着制程工艺技术能力而出现一定的差别。为此，应该将这些问题作为今后研究的方向。
参考文献
[1]王振红，张常年，张萌萌.电子产品工艺[M].北京：化学工业出版社.
[2]余国兴.现代电子装联工艺基础[M].西安：西安电子科技大学出版社，2007，5.
关键词：纳米二氧化钛，气相法，液相法，光催化
纳米二氧化钛（TiO2）具有许多特殊性能，比如表面效应、体积效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道四大效应[1]，从而使其与普通二氧化钛相比具有许多特殊性能。
纳米二氧化钛是无机纳米半导体材料TiO2中极其重要的一种纳米材料，是一种稳定的无毒紫外光吸收剂[2]，纳米TiO2还具有很好的光催化作用[3]，在光照条件下能够降解有机污染物、杀死细菌。纳米二氧化钛在水处理、催化剂载体、紫外线吸收剂、光敏性催化剂、防晒护肤化妆品、光电子器件等领域具有广泛的用途。目前纳米二氧化钛的制备方法主要分为液相法和气相法，本文对其制备方法及其应用发展进行了总结。
1 制备方法
1.1 气相法
气相法是直接利用气体，或者通过各种手段将物质转变为气体，使之在气体状态下发生物理变化或者化学反应，最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米粒子的方法。
1.1.1 四氯化钛气相氧化法 此法多是以四氯化钛为原料，以氮气为载气，以氧气为氧源，在高温条件下四氯化钛和氧气发生反应生成纳米二氧化钛。该工艺的优点是自动化程度高，可以制备出优质的二氧化钛粉体；缺点是二氧化钛粒子遇冷结疤的问题较难解决，对设备要求高，技术难度大，在生产过程中排出有害气体Cl2，对环境污染严重。
1.1.2 四氯化钛氢氧火焰法 以TiCl4为原料，将TiCl4气体导入高温的氢氧火焰中700～1000℃，进行高温气相水解备纳米二氧化钛。四氯化钛氢氧火焰法制得的纳米二氧化钛粒子晶型为锐钛矿和金红石的混合型，该工艺优点是产品纯度高达99.5%，粒径小、比表面积大、分散性好、团聚程度小，可用作电子化工材料，制备工艺成熟，生产过程较短，自动化程度高；缺点是反应过程温度较高，生成HCl使设备腐蚀严重，对材质要求高，需要精确控制工艺参数。
1.2 液相法
当今制备纳米粒子液相法居多，纳米二氧化钛的制备方法也是如此。主要有溶胶-凝胶法、水热法、沉淀法等。
1.2.1 溶胶—凝胶法 溶胶—凝胶法(简称S—G法)，又名胶体化学法，是被广泛采用的一种制备纳米二氧化钛的方法。其原理是以钛醇盐或钛的无机盐为原料，经水解和缩聚得溶胶，再进一步缩聚得凝胶，凝胶经干燥、煅烧得到纳米二氧化钛粒子。论文参考，液相法。与其它方法相比制品的均匀度高，尤其是多组分的制品，其均匀度可达分子或原子尺度；制品的纯度高，而且溶剂在处理过程中容易除去；反应易控制，副反应少；煅烧温度低，工艺操作简单。
1.2.2 水热法 水热反应过程是指在一定的温度和压力下，在水、水溶液或蒸汽等流体中所进行有关化学反应的总称。该法的原理是在高压、水热条件下加速离子反应和促进水解反应。论文参考，液相法。一些在常温下反应速度很慢的热力学反应，在水热条件下可以实现反应快速转化。
2 纳米TiO2催化性能的应用
2.1 杀菌功能
抗菌是指TiO2在光照下对环境中微生物的抑制或杀灭作用。TiO2光催化剂对绿脓杆菌、大肠杆菌、金黄色葡萄球菌等具有很强的杀菌能力。在紫外线作用下，以0.1mg/cm3浓度的超细TiO2可彻底地杀死恶性海拉细胞，而且随着超氧化物歧化酶（SOD）添加量的增多，TiO2光催化杀死癌细胞的效率也提高；用TiO2光催化氧化深度处理自来水，可大大减少水中的细菌数，饮用后无致突变作用，达到安全饮用水的标准[5]；当细菌吸附于由纳米二氧化钛涂敷的光催化陶瓷表面时，TiO2被紫外光激发后产生的活性超氧离子自由基(·O-)和羟基自由基(·OH-)能穿透细菌的细胞壁,破坏细胞膜质，进入菌体，阻止成膜物质的传输，阻断其呼吸系统和电子传输系统，从而有效地杀灭细菌，并抑制细菌分解有机物产生臭味物质如H2S、SO2、硫醇等[4]；在涂料中添加纳米TiO2可以制造出杀菌、防污、除臭、自洁的抗菌防污涂料，可应用于医院病房、手术室及家庭卫生间等细菌密集、易繁殖的场所，可有效杀死大肠杆菌、黄色葡萄糖菌等有害细菌，防止感染。论文参考，液相法。论文参考，液相法。
2.2 防紫外线功能
纳米TiO2既能吸收紫外线，又能反射、散射紫外线，还能透过可见光，是性能优越、极有发展前途的物理屏蔽型的紫外线防护剂。与同样剂量的一些有机紫外线防护剂相比，纳米TiO2在紫外区的吸收峰更高，更可贵的是它还是广谱屏蔽剂，不象有机紫外线防护剂那样只单一对UVA或UVB有吸收[6]。它还能透过可见光，加入到化妆品使用时皮肤白度自然，不象颜料级TiO2，不能透过可见光，造成使用者脸上出现不自然的苍白颜色。论文参考，液相法。利用纳米TiO2的透明性和紫外线吸收能力还可用作食品包装膜、油墨、涂料和塑料填充剂，可以替代有机紫外线吸收剂，用于涂料中可提高涂料耐老化能力。论文参考，液相法。
2.3 防雾及自清洁涂层
TiO2薄膜在光照下具有超亲水性和超永久性[7]，因此其具有防雾功能，如在汽车后视镜上涂覆一层氧化钛薄膜，即使空气中的水分或者水蒸气凝结，冷凝水也不会形成单个水滴，而是形成水膜均匀地铺展在表面，所以表面不会发生光散射的雾。当有雨水冲过，在表面附着的雨水也会迅速扩散成为均匀的水膜，这样就不会形成分散视线的水滴,使得后视镜表面保持原有的光亮，提高行车的安全性。如果把高层建筑的窗玻璃、陶瓷等这些建材表面涂覆一层氧化钛薄膜，利用氧化钛的光催化反应就可以把吸附在氧化钛表面的有机污染物分解为CO2和O2，同剩余的无机物一起可被雨水冲刷干净，从而实现自清洁功能[8]。
参考文献：
[1]卓长平,张雄.纳米涂料发展现状[J].上海化工2003 (11):33~ 36.
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关键词：萃取；高纯；甲醇
在医药、电子等领域中，高纯甲醇被越来越广泛的应用，但是在国内目前的高纯甲醇档次比较低，技术路线还不算成熟，缺乏竞争力。
一、二甲基亚砜的概念及应用
一种含硫有机化合物，在常温下为无色无臭的透明液体，也是一种吸湿性的可燃液体，这种化合物就被称作为二甲基亚砜，它的分子式是（CH3）2SO.它具有极性高、沸点高、好的热稳定性、非质子、与水混溶的特性，能溶于乙醇、丙醇、苯和氯仿等大多数有机物，被誉为“万能溶剂”。在溶剂和反应试剂中，二甲基亚砜有着广泛的应用，尤其是丙烯腈聚合反应中作加工溶剂和抽丝溶剂，作聚氨酯合成及抽丝溶剂，作聚酰胺，聚酰亚胺和聚砜树脂的合成溶剂，以及芳烃，丁二烯抽提溶剂和合成氯氟胺的溶剂等。
二、高纯甲醇及其用途
1、高纯甲醇，主成分含量在99.9%以上，并对其紫外吸收、水分、残渣、痕量杂质残留等关键技术指标都有严格的限制，杂质含量限制在ppm~ppb级。
2、高纯甲醇的用途当前，在化学分析、电子清洗、医药合成等方面高淳甲醇在这些其中都得到了广泛的应用，随着不断增长的市场需求量，对于高淳甲醇的应用前景十分看好，高淳甲醇的主要用途有以下的几个方面：
2.1高淳甲醇在作为仪器分析试剂应用在化工精密仪器上，比如在高效液相色谱中高纯甲醇作为流动相，单独使用或混合使用。反向液相色谱是高效液相色谱中应用最广的一种模式，其中流动相是完成相色谱样品分离分析最关键的一个因素，而甲醇是使用最多的一种流动相，其要求甲醇达到色谱纯，且在紫外波段(220~280mm)内需很高的透光度。
2.2微电子行业作为清洗剂高纯甲醇作为清洗剂应用于现代微电子行业，比如硅圆片在进行工艺加工过程中，常常会被不同的杂质所沾污，这些杂质的玷污会导致IC的产率下降大约50%。为了获得高质量、高产率的集成电路芯片，必须将这些玷污物去除干净。所以，高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。
三、间歇萃取精馏模拟
分离近沸点或者共沸物系的最有效的方法之一就是间歇萃取精馏。针对于某一个物系，尤其是近沸点或者共沸物系，它们分离能不能用间歇萃取精馏方法来进行实现，针对这个过程进行的数学模拟，要通过模拟来判断，也同时可以对过程中的各参数进行考察。
1、模型介绍精馏塔的模拟长采用两种方法：其一，平衡级模型，对于平衡级处于汽液平衡状态做一个假设，并且级内液相和汽相各自全部混合，然后，针对达不到平衡的情况用板效率进行调整和分析计算。其二，非平衡级模型，研究对象选择实际的精馏每一块板，传质速率和传热速率进行引入，对每一级中可能出现的所有影响平衡的因素进行表达。但是传质和传热速率的引入使一直都和复杂的精馏模拟变得更加的复杂，并且，也不易得到方程的参数，所以，在实践中并没有得到很广泛的应用。
2、间歇萃取精馏过程模拟的数学模拟因为间歇萃取精馏塔的操作过程是非稳定的，和连续精馏相比，它的模拟要复杂很多。对模型进行适度简化假设是很有必要的，这样做是为了让计算机能够在很短的时间内完成。可分为以下的几点：
2.1理论级假设：对汽、液两相间的热量和质量传递速率假设为无限大，就是在每一块塔板上汽、液两相经过接触以后，迅速达到平衡的状态，离开塔板的汽相混合物和液相混合物之间处于相平衡的状态。
2.2全混级假设：假设塔板上的液体及塔板间的气体是完全混合的，具有均匀的压力、温度和浓度。
2.3恒摩尔持假设：在每块塔板上，液相持液量假设保持恒摩尔没有变换。
2.4对汽相滞料量的忽略。
2.5对塔身忽略其热损失。
2.6塔釜相当于一个平衡级。把采用溶剂一次性加入和溶剂连续加入两种操作方式相比，比较适宜的操作条件均为溶剂比为0.3，前馏分回流比为8，产品段回流比为5.而相同操作条件下，溶剂连续加入时高纯甲醇的收率要明显高于溶剂一次性加入时的收率。
四、实验研究
依据国家行业标准，在对甲醇含量进行测定时，只对杂质含量较高的工业甲醇适用的是单纯汽相色谱法测定工业甲醇纯度和有机杂质，但是对于纯度大于99.5%，并且工业甲醇和试剂甲醇的杂质含量很低，这样的方法就不适用。把实验结果和模拟结果两者相比较，确定最佳工艺条件，两者所确定的适宜溶剂比和回流比基本上相同，从而对间歇萃取精馏制备高纯甲醇的最佳工艺条件进行了确定。
五、结语
随着高新技术产业的快速发展,高纯甲醇在化工、制药、分析测试、电子清洗等领域得到越来越广泛的应用,市场需求量不断增长。目前,国内的高纯甲醇档次低,技术路线还不成熟,缺乏竞争力,高纯甲醇市场很大程度上还依赖进口。利用工业甲醇制备高纯甲醇,附加值高,且国内有充足的原料保障,这对于填补我国自主生产高纯甲醇产品空白具有极其重要的意义。
参考文献：
【1】谢英芹.间歇萃取精馏制备高纯甲醇的研究[D].天津大学硕士论文2007，（01）.
【2】李楠.微波强化处理二甲亚砜生产废水工艺及机理研究[D].哈尔滨工业大学博士论文2010，（06）.
【3】刘范嘉.工业甲醇纯化生产高纯甲醇的研究[D].天津大学博士论文2006，（12）.
1CDIO工程教育理念
CDIO工程教育模式，是由美国麻省理工学院、瑞典皇家工学院等四所大学共同创立的工程教育改革模式。是近年来国际工程教育改革的最新成果，CDIO是构思(Conceive)、设计(Design)、实施(Implement)、运作(Operate)4个英文单词的缩写，以产品从研发到运行的生命周期为载体让学生以主动的、实践的、与课程之间有机联系的方式学习掌握知识&-4。迄今已有几十所世界著名大学加入了CDIO国际组织，这些学校采用CDIO工程教育理念和教学大纲开展教学实践，取得了良好的效果。
2存在的问题与课程建设思想
微电子技术研究的中心问题是集成电路的设计与制造,将数以亿计的晶体管集成在一个芯片上。微电子技术是信息技术的基础和支柱，是21世纪发展最活跃和技术增长最快的高新科技，其产业已超过汽车工业，成为全球第一大产业。微电子工艺课程主要介绍微电子器件和集成电路制造的工艺流程，平面工艺中各种工艺技术的基本原理、方法和主要特点。其课程建设思想是使学生对半导体器件和半导体集成电路制造工艺及原理有一个较为完整和系统的概念，掌握当前微电子芯片制作的工艺流程、主要设备、检测方法及其发展趋势^7]。
但目前该课程教学中存在较多问题，教学效果不佳，主要有如下几点：(1)教材陈旧，没有较适合的双语教材，难以适应跨国际的微电子制造工艺新技术的快速发展;(2)教学内容信息量大，在教学时间短、内容多的情况下，教师难以合理安排教学进度;(3)在课程设置上重理论轻实践，技术性和实践性的内容较少，与迅速发展的工业实际脱节;(4)教学方法单一,理论联系实际不紧密，不利于学生课堂积极性的提高与创造性的发挥“5)实践教学环境较差，由于微电子工艺设备十分昂贵，有待加强高校精密贵重仪器设备和优质实验教学资源共享平台和运行机制的建设;(6)教评形式单一，忽略了实践教学与考核，致使大多数学生只是死记硬背书本知识的学习方式来应付考试。
3微电子工艺的课程建设
3.1教材选取及教学内容改革
本课程教材选用经历了《芯片制造一半导体工艺制程实用教程》、《现代集成电路制造工艺原理》到目前的首选教材：国外电子与通信教材系列中，美国MichaelQiurk和JulianSerda著《半导体制造技术》韩郑生的中文翻译本。该书不仅详细介绍芯片制造中的每一关键工艺，而且介绍了支持这些工艺的设备以及每一道工艺的质量检测和故障排除;并吸收了当今最新技术资料，如用于亚0.25pm工艺的最新技术:化学机械抛光、浅槽隔离以及双大马士革等工艺;内容丰富、全面、深入浅出、直观形象、思考习题量大，并附有大量的结构示意图、设备图和SEM图片，学生很容易理解，最主要的相对前两本教材,它更加突出实际工艺，弱化了较抽象的原理。
教学内容上采取调整部分章节，突出教学重点，并适当增减部分教学内容。本课程的目的是使学生掌握半导体芯片制造的工艺和基本原理，并具有一定的工艺设计和分析能力,课程仅32学时，而教材分20章,600页，所以教师需要精选课堂授课内容。从衬底制备、薄膜淀积、掺杂技术到图形加工光刻技术以及布线与组装,所涉及的概念比较多，要突出重点：薄膜淀积(氧化、蒸发、溅射、MOCVD和外延等)，光刻与刻蚀技术、掺杂技术，需章节调整系统整合;对非关键工艺的5~8章(介绍半导体制造中的化学药品、污染及缺陷等内容)只作为学生课后自学阅读。第2章的半导体材料特性已在“固体物理”课程中详细介绍，第3章的器件技术已在‘‘半导体物理“晶体管原理”课程中介绍，第20章装配与封装会在“集成电路封装与测试”课程中介绍，故无需重复讲解。将第9章集成电路制造工艺概况放在后面串通整过工艺讲解，即通过联系单项工艺流程,具体分析讲解典型的CMOS芯片制造工艺流程,如由n-MOS和p-MOS两个晶体管构成的CMOS反相器，这样能够加深对离子注入、化学气相淀积、光刻关键技术、集成电路的隔离技术以及VLSI的接触与互连技术等内容的理解。
另一方面，指导学生查阅相关资料，对教材内容作必要的补充，微电子工艺技术的发展迅速，因此需要随时跟踪微电子工艺的发展动态、技术前沿以及遇到的挑战。特征尺寸为45nm的集成电路已批量生产，高K介质/金属栅层叠结构、应变硅技术已采用。而现有的集成电路工艺教材很少能涉及到这些新技术，为了防止知识陈旧，应多关注集成电路工艺的最新进展，尤其是已经投入批量生产的工艺技术，及时将目前主流的工艺技术融入课程教学中。
3.2教学方法的改革
(1)开发多媒体工艺教学软件，利用多媒体技术，将动画、声音、图形、图像、文字、视频等进行合理的处理，利用大量二维和三维的多媒体图片、视频来展示和讲解复杂的工艺构造过程。开发图文声像并茂的微电子工艺多媒体计算机辅助教学软件，给学生以直观、清楚的认识，有助于提高教学质量。
(2)微电子工艺综合共享实验平台建设，集成电路的制造设备价格昂贵，环境条件要求苛刻，运转与维护费用很大，国内仅部分高校拥有集成电路工艺试验线或部分实验分析设备。按照有偿服务或互惠互利原则共享设备仪器资源，创建各院校之间和与企业之间的“微电子工艺综合共享实验平台”可极大的提高集成电路工艺及其实验课程教学效果，即解决了一些院校资金短缺问题，同时也部分补偿了大型设备的日常使用和维护费用问题。其综合共享实验平台包括金属有机化合物MOCVD沉积技术、分子束外延、RF射频磁控溅射、XPS、XRD及AFM分析测试、光刻、离子注入等涉及投资巨大的仪器设备实验项目。
(3)拓展实践能力的校企合作，让学生带着理论知识走进企业的真实工程环境，探索利用企业先进的工艺线资源进行工艺实验教学与参观实习6-9]。参观实习能够使学生对集成电路的生产场地,超净环境要求具有深刻的感性认识，对单晶硅制造流程、芯片制造工艺过程以及芯片的测试和封装的了解也更加系统和全面。同时利用假期安排学生去企业实习，让学生参与企业的部分生产环节，亲身感受实际工艺生产过程，增加学生对企业的了解，也利于企业选拔优秀学生。
(4)工艺视频与工艺实验辅助教学，由于微电子工艺内容与生产密切结合，不能单靠抽象的书本知识教学，对于学生无法了解到的一些工艺实验与设备，可通过录像教学来补充。本学院购置了清华大学微电子所的集成电路工艺设备录像与多媒体教学系统，结合国外英文原版的工艺流程视频,通过工艺视频把实际工艺流程、设备和设备操作等形象地展示在课堂。多媒体教学系统提供了氧化、扩散和离子注入三项工艺设备操作模拟，可使学生身临其境地对所学的基本工艺进行简单的模拟。同时结合课堂教学开设半导体平面工艺实验，主要包括以：氧化、光刻、扩散、蒸铝、反刻、划片、装架、烧结、封装。实验以教师讲解与学生动手相结合，既培养了学生的实际动手能力，又使学生掌握了科学分析问题的方法，激发了学生的学习兴趣,加深学生对课堂理论知识的理解。
3.3多元化的考核评价体系
对学生的考核是对其具体学习成果的度量，也是检验教学改革成效的重要手段，为了更科学合理的考核学生，我们建立了多元化的更加注重过程参与的考试评价体系，降低了期末考试在总成绩中所占比例，最大限度避免学生靠死记硬背来应付考试和学生创新思维被抑制、高分低能现象产生。这种多元化、过程性的成绩评定方法，强调知识的积累与构建过程，消除了学生重理论轻实践,考前死记硬背应付考试的弊病。总评成绩由平时成绩和期末考试成绩两部分构成。但加大平时成绩的权重,平时成绩即包括了作业与考勤，还包括综合性实验成绩、设计仿真、国外工艺视频翻译、专题小论文和专题PPT论坛团队成绩等。同时在期末考题中增加openanswerquestion型、工艺过程设计型题目110-11。
4结语
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