摘要：基于4英寸前照式576×288EMCCD晶圆，设计了背照式EMCCD器件结构，给出了背照式集成制备工艺方案及工艺过程。对所制备的576×288背照式EMCCD器件进行了性能测试，并完成了成像验证，峰值量子效率较前照式显著提高。