摘要：为了提高高光谱遥感技术的分析精度,利用标量衍射理论,对矩形光栅局部结构误差的衍射效率进行了分析,并计算了光栅局部周期和缝宽误差对衍射效率的影响。结果表明,当加工误差使得光栅局部缝宽变大时,会造成光栅各主极大(除零级)衍射光强变小,这一误差对±1级处的衍射光强影响相对较小,随着误差的增加,越高的衍射级次其光强下降得越快;而当加工误差使得光栅局部缝宽变小时,会造成光栅各主极大(除零级)衍射光强变大,同样,当误差变大时,相对±1级的衍射光受到的影响而言,级次越高对应的主极大衍射光强增大得越快。该研究对于加工矩形光栅减小局部周期和缝宽误差控制提供了参考。