金刚石砂轮磨削贴膜硅片崩边的研究-贴膜-好期刊

金刚石砂轮磨削贴膜硅片崩边的研究

摘要：

关键词：

作者：

张倩; 董志刚; 刘海军; 王紫光; 康仁科; 闫宁; 朱祥龙

单位：

大连理工大学; 精密与特种加工教育部重点试验室; 辽宁大连116024; 合肥工业大学机械工程学院/现代集成制造与数控装备研究所; 合肥230009; 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司; 郑州450001

刊名：

金刚石与磨料磨具工程

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金刚石与磨料磨具工程杂志由郑州磨料磨具磨削研究所有限公司主办，郑州磨料磨具磨削研究所有限公司主管的学术刊物，国内刊号为：41-1243/TG。创办于1970年，双月刊，在全国同类期刊中发行数量名列前茅。其主要栏目有：开发与应用、专题综述、标准与检测、企业快讯、工艺与装备等。