激光清洗技术在微电子领域的应用

摘要:本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨.

关键词:
  • 激光清洗  
  • 微电子  
  • 激光辐射  
  • 激光器  
作者:
赵志明
单位:
西安交通大学电信学院,陕西西安710049
刊名:
洗净技术

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期刊名称:洗净技术

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