摘要:本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨.
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期刊名称:洗净技术
洗净技术杂志紧跟学术前沿,紧贴读者,是一本综合性月刊,坚持指导性与实用性相结合的原则,创办于2003年,杂志在全国同类期刊中有很重的学术价值。