基于声表面波纸基微流器件研究

摘要:为了降低工艺要求和制作成本,提出了压电基片上纸基微流器件制作方法。采用焊锡丝构建微通道图案,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化、剥离焊锡丝、填入棉线、棉线吸收未固化PDMS等工艺过程,将图案转印于纸基片,并贴合于128°YX-LiNbO3压电基片上。实验结果表明,电信号功率为27.3dBm时,在研制器件上实现淀粉显色反应,验证其微流分析功能。

关键词:
  • 声表面波  
  • 纸基微流器件  
  • 输运  
  • 叉指换能器  
  • 显色反应  
作者:
章安良; 董良威
单位:
武夷学院微电子系; 福建武夷山354300; 常州工学院电子系; 江苏常州213022
刊名:
压电与声光

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期刊名称:压电与声光

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